光刻机把图案印上去之后，五金蚀刻机会根据印上去的图案刻蚀掉，光刻机标记出来应的区域和留下剩余的部分。五金蚀刻机的工作流程主要分前后段。前段一般是硅及硅的化合物的蚀刻，后段主要是金属和电介质的蚀刻。刻蚀技术按工艺分类可分为湿法刻蚀与干法刻蚀。其中湿法刻蚀又包括化学刻蚀与电解刻蚀。湿法刻蚀一般只用于清洗，很少做图案。干法刻蚀是目前主流的刻蚀技术，它是以等离子体干法刻蚀为主导。光刻只在光刻胶上做好图案，而在硅片上是没有图案的，需要用干法刻蚀的等离子体蚀刻硅片。
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